實(shí)驗(yàn)室噴金儀是什么？ 在封閉腔室中，放置陽(yáng)極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽(yáng)極和陰極之間加載高壓，會(huì)發(fā)生輝光放電現(xiàn)象。電離的氣體離子會(huì)轟擊、侵蝕陽(yáng)極靶材。靶材原子會(huì)因此向四周擴(kuò)散，并在樣品上沉積，最終在樣品表面形成一個(gè)均勻的鍍層。這個(gè)鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀察效果。
實(shí)驗(yàn)室噴金儀適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍膜導(dǎo)電膜(金膜)，儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣儀器。同時(shí)廣泛應(yīng)用于電極的制作。
改善實(shí)驗(yàn)室噴金儀噴金效果的幾個(gè)技巧：
1.腔室一定要保持干凈！如果可以的話，不要在噴金儀的腔室中進(jìn)行蒸碳操作，最好用另一臺(tái)設(shè)備進(jìn)行蒸碳。（防止蒸碳污染濺射儀腔室）。
2.可以用熱肥皂水定期清潔腔室，并充分干燥。不建議使用試劑，這可能會(huì)影響健康安全。如果沉積物太頑固，可以考慮使用廚房百潔布。
3.可以使用異丙醇清洗金屬表面。但不要用丙酮，它不僅會(huì)影響健康安全，而且更難回姂干凈，會(huì)影響真空性能。
4.千萬(wàn)不要在沒有隔斷真空泵的情況下，讓濺射腔長(zhǎng)時(shí)間處于真空狀態(tài)。通常情況下，手動(dòng)操作閥門可以隔斷真空泵與腔室。如果沒有閥門隔斷，隔膜泵的泵油可能會(huì)回流，污染濺射腔室。
5.確保設(shè)備干燥。開始濺射前，設(shè)備要抽到要求的真空度。否則，會(huì)明顯影響濺射響效率，并帶來污染。
6.把機(jī)械泵固定在一個(gè)牢固的基臺(tái)上。并記得定期維護(hù)機(jī)械泵。
7.濺射氣體：請(qǐng)使用高純氬氣（>99.999%），這可以確保更快的濺射速率和更短的抽氣時(shí)間。
8.如果想在表面不規(guī)則的樣品上獲得均勻的濺射鍍層，最好使用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。
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